Fraunhofer HHI seleciona sistema Sputter da Veeco

O Instituto de pesquisa de telecomunicações ópticas encomenda um sistema de pulverização por feixe de íons para criar revestimentos facetados a laser e dispositivos micro-ópticos.
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A HHI usará a tecnologia IBS da Veeco para criar revestimentos facetados a laser.

Veeco Instruments anunciou que enviou seu sistema Spector Ion Beam Sputtering (IBS) e Sirius Optical Monitor System para o Instituto Fraunhofer para Telecomunicações(HHI).
O instituto, com sede em Berlim, Alemanha, afirma que usará essa tecnologia IBS “para desenvolver e produzir revestimentos facetados a laser e outros dispositivos micro-ópticos”.
“O desenvolvimento de dispositivos micro-ópticos sofisticados requer tecnologia de pulverização catódica excepcional”, comentou Greta Ropers, chefe do grupo de back-end e embalagem da Fraunhofer.
“O sistema Spector da Veeco, juntamente com o Sirius OMS, garantirá que estejamos desenvolvendo e produzindo dispositivos de classe mundial com o mais alto rendimento e repetibilidade de processo em uma plataforma automatizada estabelecida.”

Filmes finos ópticos
A plataforma Spector gera filmes finos ópticos de alta qualidade com melhores níveis de produtividade e rendimento, de acordo com os clientes. Ao contrário dos revestimentos evaporativos, os filmes finos pulverizados por feixe de íons são depositados em altas energias, proporcionando um controle de espessura excepcional e baixas densidades de defeito para aplicações de revestimento a laser. O Sirius OMS aumenta a capacidade da plataforma Spector ao acoplar o controle de monitoramento de banda larga com a estabilidade dos filmes depositados por feixe de íons .
“O Fraunhofer HHI é líder mundial no desenvolvimento de revestimentos facetados a laser e dispositivos micro-ópticos de próxima geração”, disse o Dr. Adrian Devasahayam, vice-presidente e gerente geral de negócios de Deposição Avançada e Etch (AD&E) da Veeco. “O sistema Spector oferece qualidade e flexibilidade incomparáveis ​​para filmes finos de revestimento óptico de precisão e irá acelerar seus objetivos de desenvolvimento.”
O financiamento para este projeto foi concedido pelo Forschungsfabrik Mikroelektronik, uma fábrica de pesquisa de localização cruzada para microeletrônica e nanoeletrônica, comprometendo onze institutos dentro do Grupo Fraunhofer, juntamente com o Innovations for High Performance Microelectronics e o Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. O sistema foi vendido em cooperação com o parceiro de canal europeu da Veeco,Veonis Technologies.


Horário da postagem: 31/10/2019